Das Ziel des geförderten Projektes ist es, für hochvernetzte Produktionsprozesse – hier an Beispielen in der Halbleiter- und Automobilindustrie – neue Messwerkzeuge zu entwickeln. Während der Herstellung sollen so kleinste Materialdefekte und Kontaminationen mit unterschiedlichen Messmethoden bestimmt werden. Da Elektronikbauteile immer kleiner und komplexer werden, müssen auch bestehende Messmethoden bezüglich ihrer Auflösung und Genauigkeit angepasst und weiterentwickelt werden. Diese Werkzeuge sollen dann mit der Fertigungsumgebung vernetzt werden und können so durch die Kombination mit weiteren Sensordaten Produktivität und Qualität in Echtzeit verbessern. Im Projekt sollen eine messtechnische Pilotlinie aufgebaut, verschiedene Messplattformen erarbeitet und miteinander verknüpft werden. Zudem sollen die Messmethoden in die digitale Systemarchitektur von Fertigungslinien integriert und neue Normen und Standards entwickelt werden.
Quelle: MADEin4 – Metrologie für die Halbleiterherstellung mit Industrie 4